人物经历

学习经历

2000.9-2004.7获北京航空航天大学，飞行器设计与工程专业，本科学历。

2005.9-2008.7获中国科学院研究生院(中科院光电研究院)，飞行器设计专业，硕士学位。

2010.9-2015.7获中国科学院大学(中科院光电研究院)，计算机应用技术专业，博士学位。

工作经历

2008.7-2010.9任中国科学院光电研究院空间工程部，助理工程师。

2010.9-2018.11任职中国科学院光电研究院光电工程部。

2010.10聘为工程师。

2015.12聘为高级工程师。

2017.7-2018.8在美国SLAC国家加速器实验室，做访问学者。

2018.11至今，任中国科学院微电子研究所，高级工程师。

主要成就

科研成就

承担科研项目

作为技术骨干先后承担国家科技重大专项（02专项）多项研发任务。

专利申请

授权国内发明专利32项，其中第一发明人12项；授权实用新型专利40项，其中第一发明人11项。

[1]一种动态气体锁的试验装置和试验方法,发明,专利号:ZL201610390695

[2]极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法,发明,专利号:ZL201510076613

[3]一种极紫外反射镜片的四维装调装置,发明,专利号:ZL201410545200

[4]一种螺旋气流动态气体锁,发明,专利号:ZL201310343253

[5]一种新型气体放电腔,发明,专利号:ZL201210337140

人才培养

代表论著

发表论文10余篇，其中第一作者9篇。

[1]陈进新，王宇，谢婉露.极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究[J].光学学报.2017,Vol.37,No.2,0222002.

[2]Jinxin Chen, Wanlu Xie, Xiaobin Wu, Yu Wang. 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum[C]. 3rd Annual International Conference on Mechanics and Mechanical Engineering, 2016. 

[3]陈进新，王宇，谢婉露.极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究[J].激光与光电子学进展.2016,Vol.53,No.5,053401.

[4]陈进新，王魁波，王宇.极紫外真空动态气体锁流场分析与研究[J].真空科学与技术学报.2015,Vol.35,No.8,940-946.

[5]陈进新，徐向宇，王宇.ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究[J].激光与光电子学进展.2014,Vol.51,No.1,011402.

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姐的欢喜 » 陈进新（中国科学院微电子研究所高级工程师）
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